矢量平移检测

参考周期：常规试验7-15工作日，加急试验5个工作日。

注意：因业务调整,暂不接受个人委托测试,望谅解(高校、研究所等性质的个人除外)。

检测项目

1.位移精度：测量实际移动距离与理论值的偏差范围（0.01mm~0.1mm）
2.角度偏差：检测X/Y/Z三轴旋转角度误差（0.05~0.5）
3.重复定位精度：连续10次运动轨迹标准差（≤0.005mm）
4.速度稳定性：运动过程中加速度波动量（≤2%）
5.坐标系对齐度：多轴联动时坐标匹配误差（≤0.03mm）

检测范围

1.精密机械部件：数控机床主轴/导轨系统
2.光学元件：光刻机晶圆台/反射镜支架
3.半导体设备：键合机焊头/探针台
4.工业机器人：六轴关节臂末端执行器
5.航空航天部件：卫星天线展开机构/惯导平台

检测方法

1.ASTME2309-22：基于激光干涉的动态位移测量方法
2.ISO9283:2020：工业机器人位姿特性测试规范
3.GB/T17421.2-2022：机床几何精度检验标准
4.ISO230-3:2020：数控机床热变形补偿测试
5.GB/T26195-2019：光学仪器装配精度检验规程

检测设备

1.RenishawXL-80激光干涉仪：分辨率0.001μm的线性位移测量
2.LeicaAT960绝对跟踪仪：大空间三维坐标测量（精度15μm+6μm/m）
3.PolytecPSV-500扫描式激光测振仪：高频振动位移采集（带宽25MHz）
4.ZeissACCURAII三坐标测量机：多轴联动轨迹分析（探测误差≤0.6μm）
5.KeysightN7788B光波前分析仪：光学元件平移波像差检测
6.Micro-EpsiloncapiNCDT6700电容传感器：纳米级静态位移监测
7.Kistler9236A六维力传感器：运动过程力学耦合分析
8.NikonNEXIVVM-450影像测量系统：二维平面位置偏差评估
9.HexagonAbsoluteArm7轴测量臂：现场快速校准（空间精度28μm）
10.PIE-727数字控制器：闭环运动系统误差补偿验证

北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。

中析仪器 资质